奥林巴斯半导体检测显微镜MX61L

半导体/FPD检查显微镜MX61L，透反射照明型显微镜是OLYMPUS MX61型号的升级版本，L即为长工作距离，适用最大300mm的样本，大平台的显微镜。
能对应300 mm晶圆和17英寸FPD玻璃基板的电动型号（反射透射兼用）

应对明视场观察到荧光观察的多种观察方法。切换物镜时自动调节连动的亮度光圈等，实现了舒适的检查环境。配备14×12英寸载物台，能应对大型样本。